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首条光刻石英玻璃基板成套生产线建成



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近年来,中中原人民共和国建筑材质总院石英院基于光刻用石英玻璃基板羊毛白成立本领,在阳江树立了国内首条从基板原材料创建到成品加工的整整分娩线。该分娩线可年产二〇〇四0片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原质感及制品长期依据进口的范围。

  该临盆线的创设,是中华夏族民共和国建筑质地总院承当的“十七五”国家科技(science and technology卡塔尔支持安插“高质量石英玻璃、微晶玻璃等特别材质关键手艺研究开发及示范”课题的硕果之一。石英玻璃基板是微电路晶片创造工艺中的核心构件,市镇需要量宏大。作为石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具备热牢固性好、光学均匀性高、耐辐照等好些个亮点。然则,受原质地纯度、均匀性及加工精度、硬脆性子等制约,国内石英玻璃基板短期借助进口。

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  作为本国独一正式从事石英玻璃研讨的调研院所,中黄炎子孙民共和国建筑质地总院石英院依托西藏丽水高新本领园区的化工财富,形成了循环经济行业链,创建了高品质石英玻璃研究开发集散地,并创设中国建筑工程总公司材安阳金格兰石英有限公司。经科学切磋人士不懈努力,产生一套切合我国行当现状与发展趋势的独有工艺路径,不但化解了石英玻璃基板原材质的纯度、均匀性难点,同时达成了原料茶色成立。石英院还引进多刀切割、安全高速磨抛工艺,创立性地开采了熔拉制坯、数控倒角等技能,消亡了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材质成立到产物加工,石英院产生专利20余项,行当规范、国军标及国标10余项,开拓出了各类准则的石英玻璃基板、晶圆、透镜等连串成品,不止逐步代替进口,达成了集成都电讯工程高校路等用高质量石英玻璃关键材质及成品的国产化,何况开口亚洲、东瀛等国。

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